超精密平面磨床高精尖技术（1）

 精密平面磨床加工，zui重要加工之一高精密平面加工。尤其精密测量仪器、光学仪器、硅片等超精密加工领域，要 求加工出无限平滑表面。 今后，高精密平面磨床高精度化加工技术发展将日益加速。为此，机床制造商开发出了超精密平面磨床，采用独立可变静压滑板技术实现高刚性加工同时，又实现了即使存偏载荷，油膜厚度也不会发 生变化（工作台不发生倾斜），磨削平面度达到lμm/m2。此外，加工表面通过抛光可以实现0.03μm/m2平面度。 精密平面磨床加工为了实现高精度加工，就必须克服热 变形。具体来说，需要尽可能减少来自驱动电机轴承、导向面等加工发热。此外，为了不使加工工件发生热变形， 精密平面磨床加工还需要控制加工点产生热量来自工件表面汽化热。 为此，该超精密平面磨床配置了既恒温又恒湿隔离罩，作为完整系统加以商品化。随着IT关联产品、汽车、家电等工业制品不断发展，高精密平面磨床磨削、研磨加工重要性日益增大。对于生产技术人员来说，高精度化、高，效率化自动化永远主题。磨削、研磨技术研究开发成果推动着工业产品更新，正脚踏实地向前发展。

    （1）磨削、研磨技术重要性日益增大

    如今几乎已普及到所有家庭个人电脑（PC）所配备硬磁盘（HDD）过去高精密平面磨床上用单晶金刚石刀具切削加工。近年来，磁盘面记录密度年增长率达到100％，实现了每1平方英寸达1G记录密度。这一技术经磨削加工后铝合金基盘上镀上无电解NIP薄膜，再通过研磨加工使其表面平滑而得以实现。而高性能加工技术进步，也使得基盘材料从铝合金更换为刚性比更高硅酸铝玻璃、晶化玻璃等，因此，磨削、研磨加工重要性也更大了。